Miljøkammer til spektroskopisk ellipsometer - Med delkontrakter

Universitetet i Oslo ønsker å anskaffe et miljøkammer til et spektroskopisk ellipsometer for å gjøre målinger av porøsiteten til tynne filmer. Kammeret må kunne variere og kontrollere partialtrykk av forbindelser som vann, toluen, etanol over et tilstrekkelig område til å kunne gjøre målinger av porøsiteten med porer i området 0. 4 nm – 100 nm. Utstyret må kunne integreres med et m-2000 ellipsometer fra j. a. Woollam, samt integreres i CompleateEASE programmet. Utstyret må også leveres med en egnet base for ellipsometeret.