Skanning Elektronmikroskop med EDS og CLS

Et brukervennlig skanning elektronmikroskop (sem) for undersøkelser av isolatorer, halvledere og metaller – typisk halvledende metalloksider med energi dispersiv røntgen spektroskopi (eds) og katodeluminiescens spektroskopi (cls). Mikroskopet vil stå i et «rent-rom» laboratorium med iso 4 klassifisering. Opsjon på ionestråle poleringsutstyr for preparering av prøver til sem.