System for forstøvings avsetning

I rent-rom områdene til Mikro- og Nanoteknologi laboratoriet ved Universitetet i Oslo, ønsker vi å utvide mulighetene for høykvalitets deponering av tynne filmer for forskning og (info fjernet) dette, et oppsett med 2-3 kammer med vakuum overføring til eksisterende systemer (ald) og med mulighet til overføring bl. a. Til ekstern røntgen spektroskopi. Utvikling, design og produksjon av systemet vil bli tema i konkurransen. Spesifikasjoner i tilbudsdokumenter.