Electron-beam physical vapour deposition system - Med delkontrakter

Ntnu NanoLab vil investere i et nytt elektronstråle fysisk dampavsetningssystem (heretter kalt e-strålesystemet). målet er å kjøpe et pålitelig e-strålesystem som er basert på solid konstruksjon. Fokus vil være i enkle, men robuste konstruksjon, reproduserbare prosesser, høy system oppetid, effektiv pumping, enkel å bruke, effektiv og enkel lasting / lossing, enkel vedlikehold, modularitet og oppgraderbar.