Kombinert ionemillingmaskin og sputterdeponeringsenhet

Forsvarets forskningsinstitutt (ffi) har til hensikt å anskaffe en kombinert ionemillingmaskin og sputterdeponeringsenhet til sitt til et av sine forskningslaboratorier. våre krav til utstyr er : Kombinert ionemillingmaskin (ibm + cbe) (ibm=Ion beam milling, cbe = Chemical Beam Etching/milling) og sputterdeponeringsenhet som deler et felles vakuumkammer. -Velutprøvd system med referanser til andre tilsvarende installasjoner -Plass til 4 sputter targets -Fleksible prosesser med mulighet for vinkelavhengig ets og deponering -Kjølt/variable temperatur prøveholder -Load Lock (automatisk lasting av prøver inn i vakuum kammer uten å bryte vakuum) -Opsjon for oRestgass analysator oSIMS analyse for stoppunktsberegning -Full tilgang på reservedeler og service team med erfaring. OOpsjon på servicekontrakt 1-3 år oOpsjon på servicekurs (på stedet)