SEM/FIB

Dette er de viktigste spesifikasjonene nødvendig for å forstå omfanget av det planlagte innkjøpet.
" Helios 5 uc Dualbeam fib/sem
o Integrert kamera for oversikt i kammeret
o Integrert kamera for navigering i kammeret
o 150mm Eucentrisk piezoelektrisk bord
o Integrert plasmarenser
o Aktiv vibrasjonsisolasjon
o Ladningsnøytralisering
o Elektriske gjennomføringer til kammeret
o Alle nødvendige tilbehør for å operere instrumentet
" sem
o Schottky feltemmisjonsstråle. Magnetisk immersjonslinse
o Akselerasjonsspenning: 350V - 30kV
o Elektronstrålestrøm: 0. 8pA - 100nA
o Bremsing av elektronstråle
o Oppløsning:
0. 6nm ved 15kv-2kv
0. 7nm ved 1kV med bremsing av elektronstråle
1. 0nm ved 500V med bremsing av elektronstråle
o Kolonnemontert se and bse detektor
o Inntrekkbar direktsjonell Backscatter detektor
o Kammermontert se detektor
o Pathfinder Alpine eds System for grunnstoffanalyse
" fib
o Feltemmisjon flytende Ga ionekilde
o Time of flight correction
o aksellerasjonsspenning: 500V - 30kV
o Ionestrålestrøm: 1. 1pA - 100nA
o Oppløsning: 4nm ved 30kV
o ice sekundær ione- og elektrondetektor
" Gass injeksjonssystem
o Enkelt gass for
" Insulator Enhanced etch (XeF2) med koaksielt munnstykke for fjerning av større mengder materiale
" Enhanced Etch for metaller og silisium (I2)
o 6 port multichem gass insjeksjonssystem
" dx prosessgass
" Insulator Deposition ii prosessgass
" Insulator Enhanced Etch (XeF2) prosessgass
" de Low-k Dielectric Etch Chemistry prosessgass
" Tungsten Deposition prosessgass
" Kammermontert infrarødt mikroskop
o Fungerer samtidig med normal fib/sem operasjon
o Integrert med programvaren til systemet. Kan brukes for klikk og pek navigering.
o Oppløsning i området 1-5um
o Kan avbilde strukturer på kommersielle halvlederkomponenter gjennom silisiumsubstrat
" Programvare
o Helintegrert programvare for full kontroll av instrumentet.
o Støtte for fjerning av større mengder materiale, dype brønner og tverrsnitt
o Programvare for sammenstilling av mange sem bilder til et stort høyoppløselig bilde.
o Integrasjon med cad verktøy som bruker GDS2 og andre relevante filformater