Direkteanskaffelse av Deep reactive-ion etching maskin (DRIE) - Med delkontrakter

Det skal anskaffes en drie enkammer for 150 mm skiver med Cryo-cooled etch electrode kit, vinklet versjon. Utstyret skal leveres, installeres og kalibreres av leverandør samt at leverandør skal gjennomføre opplæring av oppdragsgivers personell.